Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 04.04.02/К 89 Автор(ы) : Кузнецов Ф.А., Смирнова, Тамара Петровна, Заглавие : Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники : Монография/ Ф.А. Кузнецов, Т. П. Смирнова Выходные данные : Новосибирск: Издательство СО РАН, 2013 Колич.характеристики :176 с ISBN, Цена 9785769212727: Б.ц. УДК : 539.2+621.38 ББК : 24.5 Предметные рубрики: ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ. МАТЕМАТИКА-- Химические науки Перейти: http://znanium.com/go.php?id=924967 Доп.точки доступа: Смирнова, Тамара Петровна