04.04.02 К 89 Кузнецов, Ф. А. Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники [Текст] : Монография / Ф. А. Кузнецов, Т. П. Смирнова. - Новосибирск : Издательство СО РАН, 2013. - 176 с. - ISBN 9785769212727 : Б. ц. УДК 539.2+621.38 ББК 24.5 РУБ 04.04.02 + 04.06.01 + 04.00.00 + 04.03.02 Рубрики: ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ. МАТЕМАТИКА--Химические науки Перейти: http://znanium.com/go.php?id=924967 Доп.точки доступа: Смирнова, Тамара Петровна Свободных экз. нет