28.04.03 Г 12 Гаврилов, А. С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : Учебное пособие / А. С. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2. - Москва : Издательский Центр РИОР ; Москва : ООО "Научно-издательский центр ИНФРА-М", 2014. - 240 с. - ISBN 9785369012994 : Б. ц. УДК 544.6:621.3(075.8) ББК 24.57я73 РУБ 28.04.03 + 28.04.04 + 11.04.04 + 28.04.02 + 28.04.01 + 28.03.02 + 28.03.03 + 11.03.03 + 11.03.04 + 28.03.01 Рубрики: ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ТЕХНИКА. МЕДИЦИНА--Автоматика. Радиоэлектроника. Связь Перейти: http://znanium.com/go.php?id=431359 Доп.точки доступа: Белов, Алексей Николаевич Свободных экз. нет